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BPE-400 4" probe station 探針台

BPE-400 4" probe station 1.4"wafer stainless vacuum chuck 2.chuck x-y stage 101.6mmx101.6mmring

#probe#4"#探針台#針座#Triaxial#距離#行程
BPE-400 4" probe station
specification:
1.4"wafer stainless vacuum chuck
2.chuck x-y stage
行程
101.6mmx101.6mmring
3.Chuck X-Y stage distance 4”x4”
4.Chuck theta rotation 0°
360° manual微調
5.Platen U
型固定不動

6.chuck x-y stage
最小移動距離2um
7.chuck
面積4"卡盤平整度
:5um
9.Box
底座尺寸(450mmx320mmx50mm
)

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統一編號:53131488
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