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VOC瓦斯或電熱燃燒式

專門處理VOC (揮發性有機化合物) 一般作為清洗劑溶劑使用之苯、 甲苯、 二氯甲烷,廣泛應用於

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專門處理VOC (揮發性有機化合物)
一般作為清洗*
劑溶劑使用之苯、 甲苯、
二氯甲烷,廣泛應用於
工業中。但是釋放
到空氣和水中造成環境污染與人為健康
危害

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    KPL為電漿式(Plasma)高溫處理設備,最高溫度1300℃,可處理 CF4,SF6,CHF3,C2F6,NF3,SiH4,TEOS,N2O,SiH2Cl2,NH3,F2,B2H6,WF6,C3F
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